扫描电子显微镜是一种新型的电子光学仪器，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。
二，扫描电子显微镜主要指标?其主要应用在哪些方面、
1)图像放大倍数M=L/l,即荧光屏上显示的图像的横向长度L与电子束在样品上横向扫描的实际长度l之比。
2)分辨率：影响分辨率本领的主要因素：入射电子束斑的大小，成像信号(二次电子，背散射电子来自样品的不同深度，其影响区大小不等等)。
3)扫描电子显微镜的景深：由于电子束有一定发散度，除了焦平面处，电子束将展宽，景深与放大倍数及孔径光栏有关。
三，扫描电子显微镜镜构成
扫描电子显微镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统。
1)真空系统：主要包括真空泵和真空柱两部分，真空柱是一个密封的柱形容器。
2)电子束系统：由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。
3)成像系统：电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。