上海蒲柘光电仪器有限公司

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浅谈光学显微镜的分辨率

来源:上海蒲柘光电仪器有限公司 作者:上海蒲柘光电 日期:2022-09-26 21:20:46

许多用户在购买显微镜是往往注重发大倍数而忽略分辨率。分辨率就是能看清的二个物体间的最小间距。显微镜分辨率有个计算公式σ=0.61λ/NA,其中σ为最小分辨距离;λ为光线的波长;NA为物镜的数值孔径。常用的最小4X物镜其数值孔径为0.1取可见光平均波长550nm下,分辨率为3355nm,也就是3.335um。常用的最大100X物镜其数值孔径为1.25取可见光平均波长550nm下,分辨率为268.4nm,也就是2.684um。根据公式提高分辨率方法有2种,第一提高NA数值孔径,技术难度不是太大,但容易造成显微镜像差变大。还有一种方法就是用波长短的紫外光光源,光刻机就是采用这种光源技术,但技术难度成本都会很大。

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